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DL-10A的校准曲线如下所示：▲DL-10A校准曲线横坐标是中国计量院科学院测量标准值，气样是氮气。纵坐标是DL-10A显示值。DL-10A的下限决定于Z0随时间漂移带来的误差。它主要决定于晶振的结构以及环境温度的变化。PART 02石英真空计性能

●石英真空计的精度较高，用音叉结构的晶振安装在稳定温度的金属柱上，在0.01Pa~105Pa之间测量误差为±10%。在真空计上限附近，即接近大气压经过调整后误差较小可做到3%。随着压强的减小，误差会增大。在真空计的下限误差较大。

▲DL-10A在中国计量科学院校准氮气结果

●石英真空计读数与气体种类有关，不同气体的相对压强读数也不同。下图采用的基准气体为氮气，测量不同气体时，应对该气体进行修正。▲不同气体的压强读数

●环境温度的变化会影响石英真空计的读数，在高压强不会引起很大误差，但在接近下限，会引起很大的误差。这主要体现在晶体的固有阻抗Z0随温度变化。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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.inficon真空计的特性？答：inficon真空计是一种肯定真空计，可以得出被测压力的平方根。但inficon计只有测量被测汽体中汽体的分气体压强，不可以测量在其中可凝气体的气体压强。2.导热真空计的基本原理？根据哪些量的测量来体现导热的转变？

答：导热真空计是根据低电压汽体的导热与工作压力相关这一状况来开展测量的。它可以根据热丝电阻器的变动来体现溫度的转变，进而体现导热的转变，用此类测量方式的真空计称之为传热系数真空计，又称之为皮拉尼真空计。还可以同时用热电阻测量热丝的气温改变来体现导热的转变，称之为热偶真空计。

危害导热真空计测量低值的原因是什么？答：热丝的发热量除开汽体热传导外，还能够顺着热丝自身向两边热传导，即固态热传导；还能够以扩散的方法热传导，这二种换热方法与工作压力不相干，当工作压力较低，汽体的传发热量显著小于固态的换热和幅射热传导时，就不可以体现工作压力的变动了，即做到了测量的低值。

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inficon电容塑料薄膜真空计，电路为闭环控制构造，包含微电容测量电路和静电力控制电路，在其中静电力控制电路用于造成平衡力压塑料薄膜的静电力，系统对的测量特性拥有极为重要的危害，该方式在确保真空计高度测量的并且还能扩宽其动态性测量范围。

inficon电容塑料薄膜真空计用以真空泵测量，规定在较宽的工作压力测量范围可以测出较小的工作压力变化量，与此同时必须达到深空探测、临近空间检测及其流体力学试验等运动中测量仪器设备微型化的规定，因此测量电路应当在达到测量规定的条件下尽量完成一体化、微型化、功能损耗低。

因而，对于不一样电级构造的inficon电容塑料薄膜真空计微电容测量电路应向着便于集成化、微型化的角度发展趋势。因为根据电源开关电容法的微电容测量电路便于集成化，而静电平衡构造的微电容测量法有扩宽动态性测量范围的优点，因而根据二者融合的微电容测量电路有希望完成对inficon电容塑料薄膜真空计总体测量特性的提高。

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